| 設備功能:實現對大功率PBS合束器,大反光鏡等的自動化拾取、識別、光斑耦合、點膠及UV固化。 |
| 技術特點: |
| ?耦合部分采用3維高速、高精度直線電機滑臺,運動速度可達300mm/s,重復定位精度可達±0.2um。 |
| ?角度旋轉軸重復定位精度為±0.005°。 |
| ?為實現光路位置精確耦合,采用高斯擬合算法得到精準的光斑中心位置,引導實現光路耦合,實驗表明擬合精度可以達到微米級,耦合精度可以控制在0.05°以內。 |
| ?同時支持反向通光聚焦鏡-反光棱鏡-PBS同時耦合工藝。 |
| ?料盤可放置多個工件,實現全自動生產,生產效率高。 |